| 发明名称 |
Vacuum processing chamber for very large area substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2005309226(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.01 |
| 申请号 |
AU20050309226 |
申请日期 |
2005.11.23 |
| 申请人 |
OC OERLIKON BALZERS AG |
发明人 |
LAURENT DELAUNAY;MUSTAPHA ELYAAKOUBI;STEPHAN JOST;PHANNARA AING |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C16/458;C23C16/509 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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