发明名称 MIKROELEKTROMECHANISCHE ANORDNUNG MIT EINKRISTALLINEN KOMPONENTEN UND METALLISCHEN KOMPONENTEN UND ENTSPRECHENDE HERSTELLUNGSMETHODEN
摘要
申请公布号 DE60027532(D1) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 DE20006027532 申请日期 2000.08.07
申请人 MEMSCAP S.A 发明人 DHULER, R.
分类号 H01H1/00;H01H59/00;H01H61/02;H01H61/04 主分类号 H01H1/00
代理机构 代理人
主权项
地址