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发明名称
substrate-loading base adjusted horizon
摘要
申请公布号
KR100585026(B1)
申请公布日期
2006.06.01
申请号
KR20040023064
申请日期
2004.04.02
申请人
发明人
分类号
H01J9/46
主分类号
H01J9/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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