| 发明名称 |
APPARAT MIT GASBETRIEBENEM PLANETEN-DREHTELLER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMKARBIDSCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60304850(D1) |
申请公布日期 |
2006.06.01 |
| 申请号 |
DE20036004850 |
申请日期 |
2003.02.04 |
| 申请人 |
CREE, INC. |
发明人 |
PAISLEY, JAMES;SUMAKERIS, JOHN |
| 分类号 |
C23C16/455;H01L21/00;C23C14/50;C23C16/458;C30B25/12;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/683 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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