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发明名称 Verfahren zur Selbstjustierenden Verkleinerung von Strukturen
摘要
申请公布号 DE112004001806(D2) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 DE200411001806 申请日期 2004.06.17
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 POGHOSSIAN, ARSHAK;SCHOENING, MICHAEL J.
分类号 H01L21/316;B81C1/00;B82B3/00;H01L21/033;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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