METODO PARA SECAR UN SUBSTRATO.

摘要

Un método para secar un substrato, que comprende: (a) colocar una superficie de condensación en proximidad cercana a la superficie de dicho substrato para definir un espacio entre dicho substrato y dicha superficie de condensación; (b) aplicar energía a dicho sustrato para evaporar un líquido desde dicho substrato para crear un vapor; (c) condensar el vapor en la superficie de condensación para crear un condensado; (d) mover el condensado en la superficie de condensación usando al menos fuerzas capilares; y (e) controlar dicho espacio, la temperatura de dicha superficie de condensación, la temperatura de dicho substrato, para controlar la velocidad de secado.