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发明名称
Überkonformes Herstellungsverfahren für eine Halbleiterstruktur
摘要
申请公布号
DE102004007409(B4)
申请公布日期
2006.06.01
申请号
DE200410007409
申请日期
2004.02.16
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
HAUPT, MORITZ;FOERSTER, MATTHIAS;KEGEL, WILHELM;STADTMUELLER, MICHAEL;DIETEL, ANDREAS;STORBECK, OLAF;GEIDL, JOCHEN
分类号
H01L21/763;H01L21/768;H01L21/8242
主分类号
H01L21/763
代理机构
代理人
主权项
地址
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