发明名称 场发射电极的制造方法
摘要 本发明涉及场发射电极的制造方法,其中该电极包含场发射电极衬底(1)和排列在所述场发射电极衬底(1)上的多个发射体颗粒(2),该方法包含步骤:将所述发射体颗粒(2)在载气流中分散成烟雾状发射体颗粒(2);对所述发射体颗粒(2)充电;以及通过至少一个出口(14)将载气流中的所述带电发射体颗粒(2)引导向场发射电极衬底(1),同时维持衬底(1)和靠近该出口的沉积电极(10)之间的电场,之后将所述带电发射体颗粒(2)沉积并粘附到所述场发射电极衬底(1)。
申请公布号 CN1781174A 申请公布日期 2006.05.31
申请号 CN200480011331.X 申请日期 2004.04.26
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 T·J·温克;J·马拉
分类号 H01J9/02(2006.01);H01J1/304(2006.01) 主分类号 H01J9/02(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 张雪梅;陈景峻
主权项 1.一种制造场发射电极的方法,该电极包含场发射电极衬底(1)和排列在所述场发射电极衬底(1)上的多个发射体颗粒(2),该方法包含步骤:将所述发射体颗粒(2)在载气流中分散成烟雾状发射体颗粒(2);对所述发射体颗粒(2)充电;以及通过至少一个出口(14)将载气流中的所述带电发射体颗粒(2)引导向场发射电极衬底(1),同时维持衬底(1)和靠近该出口的沉积电极(10)之间的电场,之后将所述带电发射体颗粒(2)沉积并粘附到所述场发射电极衬底(1)。
地址 荷兰艾恩德霍芬