发明名称 |
微小型光纤光谱仪的结构 |
摘要 |
本实用新型涉及微小型光纤光谱仪的结构,包括:安装槽1、支架2、第一螺纹孔3、第一槽4、第二槽5、光阑6、第三槽7、第四槽8、台阶面9、入口10、第二螺纹孔11、第三螺孔12、出口13、压盖14、成像反射镜15、准直反射镜16、光栅17、狭缝23,对狭缝坯体氧化、涂胶、光刻形成带凹坑图形,腐蚀、去胶然后涂胶、光刻形成狭缝孔图形,再ICP刻蚀或湿法腐蚀,形成不通透沟槽的狭缝坯体并去胶,ICP刻蚀或湿法腐蚀得到凹坑和狭缝孔。通过采用微机械工艺制备体积微小、价格低廉的狭缝,结构紧凑、体积小的支架,集成化的光阑,使得支架与光学系统形成一体,光学元件准确快速定位和牢固固定,从而实现了空间结构简单、集成化的微小型光纤光谱仪。 |
申请公布号 |
CN2784916Y |
申请公布日期 |
2006.05.31 |
申请号 |
CN200520028580.1 |
申请日期 |
2005.04.27 |
申请人 |
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
发明人 |
吴一辉;贾宏光;周连群;张平;鞠挥;宣明 |
分类号 |
G01N21/25(2006.01);G01N21/01(2006.01) |
主分类号 |
G01N21/25(2006.01) |
代理机构 |
长春科宇专利代理有限责任公司 |
代理人 |
梁爱荣 |
主权项 |
1、微小型光纤光谱仪的结构,其特征在于:包括:在支架2本体上有安装槽(1)、第一螺纹孔(3)、第一槽(4)、第二槽(5)、光阑(6)、第三槽(7)、第四槽(8)、台阶面(9)、入口(10)、第二螺纹孔(11)、第三螺孔(12)、出口(13)、压盖(14)、成像反射镜(15)、准直反射镜(16)、光栅(17)、狭缝(23);在支架(2)本体上的安装槽(1)、第一槽(4)、第二槽(5)、第三槽(7)和第四槽(8)与第一螺纹孔(3)轴线相互平行,并且垂直于支架(2)的上表面;入口(10)的轴线与第二槽(5)的底面相交;第一槽(4)位于安装槽(1)与第二槽(5)之间,且第一槽(4)的底面与出口(13)相对,使光栅(17)衍射后的光汇聚成像在出口(13)处;支架(2)的上表面与下表面相互平行;靠近第二槽(5)的光阑(6)的侧面与第二槽(5)的底面平行或相交,光阑(6)的工作面与第四槽(8)靠近出口(13)处的侧面平行;台阶面(9)与第四槽(8)靠近入口(10)的一个侧面相交;入口(10)和第二螺纹孔(11)两者的轴线相互平行,并且垂直于支架(2)靠近入口(10)的一个侧面;第三槽(7)靠近出口(13);第三螺孔(12)轴线与出口(13)相互平行,并且垂直于支架(2)靠近出口(13)的一个侧面;成像反射镜(15)的安装面安置在第一槽(4)内,准直反射镜(16)的安装面安置在第二槽(5)内,光栅(17)的安装面安置在第四槽(8)内;压盖(14)安置在安装槽(1)内,狭缝(23)安置在压盖(14)内。 |
地址 |
130031吉林省长春市东南湖大路16号 |