PLASMA ASHING PROCESS,申请号EP20040780747-传众专利搜索

发明名称	PLASMA ASHING PROCESS
摘要
申请公布号	EP1661162(A2)	申请公布日期	2006.05.31
申请号	EP20040780747	申请日期	2004.08.11
申请人	AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.	发明人	WALDFRIED, CARLO;ESCORCIA, ORLANDO;HAN, QINGYUAN;BUCKLEY, THOMAS;SAKTHIVEL, PALANIKUMARAN
分类号	G03F7/42;H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/00	主分类号	G03F7/42
代理机构		代理人
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