发明名称 |
防止回溅的装置与方法 |
摘要 |
本发明是有关于一种防止回溅的装置,是用于面板或基板的黄光制作过程,以防止滴置于基板或面板表面的液体(例如显影液或光阻液),经旋涂后,溅散于周缘后又回溅至基板或面板。因而引起图样或黄光制作过程的缺陷,造成产品的劣化。该防止回溅的装置主要包含:一旋转器,至少一液体喷洒单元,至少一围绕部分该旋转器的挡板,以及一粗糙化单元。而防止回溅的方法,在此也一并揭示。 |
申请公布号 |
CN1258123C |
申请公布日期 |
2006.05.31 |
申请号 |
CN03137832.3 |
申请日期 |
2003.05.21 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
曾士庭;钟昱正;郭丁瑞 |
分类号 |
G03F7/30(2006.01);G02F1/13(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/30(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
陈桢 |
主权项 |
1、一种防止回溅的装置,是配合一基板(20),其特征在于,主要包含:一旋转器(10),用以容置及旋转该基板(20);至少一液体喷洒单元(30),位于该旋转器(10)的一侧,用以喷洒一液体至该基板(20);至少一围绕部分该旋转器(10)的挡板(40),用以防止该液体溅出;一粗糙化单元(50),是披覆于部分该挡板(40)上,用以防止该液体被该挡板(40)回溅。 |
地址 |
台湾省新竹市科学工业园区力行二路1号 |