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发明名称
摘要
申请公布号 JP3779629(B2) 申请公布日期 2006.05.31
申请号 JP20020043083 申请日期 2002.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H05H1/00;C23C14/00;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/205;H05H1/46 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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