| 发明名称 |
METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (MOCVD) PROCESS AND APPARATUS TO PRODUCE MULTI-LAYER HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTING (HTS) COATED TAPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1660238(A2) |
申请公布日期 |
2006.05.31 |
| 申请号 |
EP20040821532 |
申请日期 |
2004.05.25 |
| 申请人 |
SUPERPOWER, INC. |
发明人 |
SELVAMANICKAM, VENKAT;LEE, HEE-GYOUN |
| 分类号 |
B05B13/02;B32B9/00;C04B35/45;C23C16/00;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/54;H01L39/12;H01L39/24;(IPC1-7):B05B13/02 |
主分类号 |
B05B13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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