发明名称 由氮等离子体处理的ITO膜及使用该ITO膜的有机电致发光设备
摘要 本发明公开了一种氧化铟锡(ITO)膜,其中通过氮与选自包括ITO构成元素In、Sn和O原子的组的至少一种原子反应而制备的含氮化合物,或沉淀的含氮的化合物存在于ITO膜的表面上;本发明还公开了一种制备ITO膜的方法,该方法包括使用氮等离子体处理ITO膜的表面的步骤。使用本发明提供的ITO膜作为阳极的有机电致发光设备显示出低电压、高效率和长寿命。
申请公布号 CN1781342A 申请公布日期 2006.05.31
申请号 CN200480011315.0 申请日期 2004.05.19
申请人 LG化学株式会社 发明人 孙世焕;姜旼秀;全相映;金钟杰
分类号 H05B33/26(2006.01) 主分类号 H05B33/26(2006.01)
代理机构 北京金信立方知识产权代理有限公司 代理人 南霆;朱梅
主权项 1、一种氧化铟锡(ITO)膜,其中通过氮与选自包括ITO构成元素In、Sn和O的组的至少一种原子反应而制备的含氮化合物,或沉积的含氮化合物存在于ITO的表面上。
地址 韩国首尔