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发明名称 PROCESS FOR FABRICATION OF A FERROELECTRIC CAPACITOR
摘要
申请公布号 EP1661167(A1) 申请公布日期 2006.05.31
申请号 EP20040749231 申请日期 2004.07.13
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HORNIK, KARL;BRUCHHAUS, RAINER;NAGEL, NICOLAS
分类号 H01L21/02;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/824;H01L27/115 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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