用于在样品成像时确定焦点位置的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于在样品(4)成像时确定焦点位置的方法，其中将视场光阑成像到样品上，这个成像借助于相对于视场光阑倾斜的、对位置灵敏的接收装置来检测，并且依照在接收装置上的亮度分布来确定焦点位置。此外，本发明涉及一种用于实施根据本发明的方法的装置。根据本发明，在文章开始处提到的类型的方法中，视场光阑到样品(4)上的成像至少部分地由光栅的成像来叠加；借助于对位置灵敏的接收装置，得到由样品反射的光的强度值；这些强度值被分配给在接收装置上的位置；由此确定关于位置的反差值；依照这些反差值，确定作为当前焦点位置的等价的、在接收装置上反差重心的位置。

主权项

1.用于在样品(4)成像时确定焦点位置的方法，其中-将视场光阑成像到所述样品(4)上并将在所述样品(4)上的视场光阑的成像至少部分地与光栅的成像相叠加，-借助于相对于视场光阑倾斜的、对位置灵敏的接收装置来获取由所述样品(4)所反射的光线的强度值I(xi)，并将所述强度值I(xi)配属给在所述接收装置上的位置，-由所述强度值I(xi)确定关于位置的反差值，和-根据这些反差值I(yi)，确定所述接收装置上的反差重心的位置作为当前焦点位置的等价。