发明名称 | 一种立式大口径非球面镜检验装置 | ||
摘要 | 一种立式大口径非球面镜检验装置,属于光学检验技术领域中涉及的一种立式大口径非球面镜检验装置。本发明要解决的技术问题是:提供一种立式大口径非球面镜检验装置,以保证检验数据的真实可靠。解决技术问题的技术方案是:检验支撑架固定在隔离地基上,上平台的工作面水平的固定在检验支撑架的顶端,上平台上有一个开口,在检验支撑架内的被检验非球面镜的光轴通过上平台开口的中心,位于上平台上方的被被检验非球面镜的光轴上,依次置有补偿器和反射镜,反射镜的反射面与光轴成45°角放置,在反射的光路上置有干涉仪,干涉仪和计算机之间用导线连接。该装置可以在线检验,数据真实可靠。 | ||
申请公布号 | CN1258073C | 申请公布日期 | 2006.05.31 |
申请号 | CN02144691.1 | 申请日期 | 2002.12.03 |
申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 赵文才;孟祥春;刘磊;任建岳 |
分类号 | G01B11/30(2006.01) | 主分类号 | G01B11/30(2006.01) |
代理机构 | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人 | 刘树清 |
主权项 | 一种立式大口径非球面镜检验装置,包括:隔离地基、抛光机工作台、被检验非球面镜、补偿器、干涉仪、计算机、工作台面,其特征在于该检验装置还包括检验支撑架(11)、上平台(12)、上平台开口(13)、反射镜(15);检验支撑架(11)牢固座落在隔离地基(8)上,抛光机工作台(9)和被检验非球面镜(10)都在检验支撑架(11)的包围之内,被检验非球面镜(10)可在线保持原来位置状态进行检验面形朝上,上平台(12)的工作面水平的固定在检验支撑架(11)的顶端,上平台(12)上有一个上平台开口(13),被检验非球面镜(10)的光轴通过上平台开口(13)的中心,位于上平台(12)上方的被检验非球面镜(10)的光轴上,依次置有补偿器(14)和反射镜(15),反射镜(15)的反射面与光轴成45°角放置,反射镜(15)的高度要高于工作台面(18)的位置,在反射镜(15)的反射光路上置有干涉仪(16)和计算机(17)平稳地置于工作台面(18)上,两者之间用导线连接。 | ||
地址 | 130022吉林省长春市人民大街140号 |