| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR COMPONENT WITH A PRASEODYMIUM OXIDE DIELECTRIC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1661172(A2) |
申请公布日期 |
2006.05.31 |
| 申请号 |
EP20040764533 |
申请日期 |
2004.08.20 |
| 申请人 |
IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK |
发明人 |
MUESSIG, HANS-JOACHIM |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/316;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/316;C23C16/40;H01L27/108;H01L27/112 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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