测试装置、测试装置的程式、测试图案记录媒体以及测试装置的控制方法

摘要

本发明是有关于一种测试装置、测试装置的程式、测试图案记录媒体以及测试装置的控制方法。该测试装置用以测试被测试元件，其中使用于被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案。前述测试装置具备多数个变换处理部，彼此并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给被测试元件。

主权项

1、一种测试装置，用以测试被测试元件，其中使用于该被测试元件的测试的测试图案档案是包括多数个分割图案记录区域，以记录多数个分割图案，该些分割图案是分割用来测试该被测试元件的测试图案，其特征在于该测试装置包括：多数个变换处理部，彼此并行地变换在互相不同的该些分割图案记录区域所记录的该些分割图案；以及测试图案产生器，用以供应被该些变换处理部所变换的该测试图案给该被测试元件。