| 发明名称 | 硅锭切割用浆液及使用该浆液的硅锭切割方法 | ||
| 摘要 | 在本发明的硅锭切割用浆液中，碱性物质的含量相对于浆液的液体成分的整体质量至少为3.5质量％；含有相对于浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5～5.0的有机胺，并且浆液的pH值在12以上。另外，本发明的硅锭切割方法中，在65℃～95℃下使用上述硅锭切割用浆液。其结果是，降低了硅锭切割加工时的切割阻力，能够有效地得到高品质的晶圆。 | ||
| 申请公布号 | CN1780901A | 申请公布日期 | 2006.05.31 |
| 申请号 | CN200480011473.6 | 申请日期 | 2004.10.12 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社 | 发明人 | 鹤田明三;滨保昌之;河崎贵文;西田博一;富永尚史 |
| 分类号 | C10M173/02(2006.01);B24B57/02(2006.01);B28D5/00(2006.01);H01L21/304(2006.01);C10N30/06(2006.01);C10N40/22(2006.01) | 主分类号 | C10M173/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王健 |
| 主权项 | 1、硅锭切割用浆液，含有磨粒及碱性物质，其中，所述碱性物质的含量相对于上述浆液的液体成分的整体质量，至少为3.5质量％；所述浆液含有有机胺，所述有机胺相对于上述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5～5.0，以及所述浆液的pH值在12以上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||