晶粒承载环自动输送机构

摘要

一种晶粒承载环自动输送机构，其具有一伺服驱动机构，伺服驱动机构可分别连动上臂传动轴及前臂传动轴转动，上臂传动轴顶面设置一第一上臂，第一上臂自由端凸设出一凸块，凸块内穿设一第一前臂，第一前臂一侧底面设有一齿部，且第一前臂自由端穿枢一托盘，而第一上臂相对于凸块另端设置一第二上臂，第二上臂被前臂传动轴之第一齿部连动，使第二上臂与第一上臂呈相对枢转，且该第二上臂自由端设置一心轴，心轴穿设一第二前臂，该第二前臂自由端系与托盘及第一前臂枢设，使第二前臂与第二上臂呈相对枢转；藉此，利用全自动化之操作模式，降低人力的支出，且有效地减少安装、更换晶粒承载环之工作时间，增加作业效率。

主权项

1、一种晶粒承载环自动输送机构，其特征在于：它具有一立柱，该立柱侧缘设有一伺服驱动机构，该伺服驱动机构的顶面装设一中空基座，该基座内穿设一中空上臂传动轴，该上臂传动轴的底端外周缘具有一外齿部，该外齿部被该伺服驱动机构连动；该上臂传动轴内穿设一中空前臂传动轴，该前臂传动轴的顶、底端外周缘分别设有一第一齿部及一第二齿部，该第二齿部被该伺服驱动机构连动；另该上臂传动轴位于该前臂传动轴的顶面位置，设置一被该前臂传动轴穿过之第一上臂，该第一上臂的自由端顶面凸设出一中空凸块，该凸块内穿设一第一前臂，该第一前臂之自由端穿枢一托盘，该托盘得以与该第一前臂呈相对枢转；该第一上臂相对于该凸块的另端设置一第二上臂，该第二上臂被该前臂传动轴之第一齿部连动，且该第二上臂自由端穿设一第二前臂，该第二前臂自由端系与该托盘及该第一前臂枢设。