| 发明名称 |
Alignment of semiconductor wafers and other articles |
| 摘要 |
A wafer or some other article is aligned while being held by an end-effector.
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| 申请公布号 |
US7052229(B2) |
申请公布日期 |
2006.05.30 |
| 申请号 |
US20040865328 |
申请日期 |
2004.06.09 |
| 申请人 |
TRU-SI TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
BERGER ALEXANDER J.;KRETZ FRANK E. |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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