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发明名称 CERAMIC ELECTROSTATIC CHUCK STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100587191(B1) 申请公布日期 2006.05.30
申请号 KR20040113996 申请日期 2004.12.28
申请人 KOMICO LTD. 发明人 LEE, WON HAENG;KIM, YONG KI
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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