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发明名称 METHOD OF FORMING A CONTACT PLUG IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060058576(A) 申请公布日期 2006.05.30
申请号 KR20040097662 申请日期 2004.11.25
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, CHANG JIN
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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