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发明名称 FOUNDATION PEELING DEVICE AND FOUNDATION PEELING METHOD
摘要
申请公布号 KR100583933(B1) 申请公布日期 2006.05.29
申请号 KR19990051633 申请日期 1999.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;C23C16/458;H01L21/683;H01L29/786 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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