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经营范围
发明名称
PROCESSING DEVICE USING SHOWER HEAD STRUCTURE AND PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号
KR100584191(B1)
申请公布日期
2006.05.29
申请号
KR20047016739
申请日期
2003.04.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/31;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/316
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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