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经营范围
发明名称
SIMULATION METHOD FOR MEMS DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060057692(A)
申请公布日期
2006.05.29
申请号
KR20040096679
申请日期
2004.11.24
申请人
INHA-INDUSTRY PARTNERSHIP INSTITUTE
发明人
WON, TAE YOUNG;YOON, SUK IN
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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