发明名称 A Cleaning/Buffing Appar atus for Use in a Wafer Processing Device
摘要
申请公布号 KR100583999(B1) 申请公布日期 2006.05.29
申请号 KR20007007873 申请日期 2000.07.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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