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发明名称
Polishing method
摘要
申请公布号
SG122020(A1)
申请公布日期
2006.05.26
申请号
SG20050006959
申请日期
2005.11.04
申请人
FUJIMI INCORPORATED
发明人
OH JUNHUI;KAWAMURA ATSUNORI;MATSUDA TSUYOSHI;HIRANO TATSUHIKO;HORI KATSUNOBU;SAKAI KENJI
分类号
B24B37/00;B24B37/005;H01L21/304
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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