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发明名称 SINGLE CRYSTALLINE GALLIUM NITRIDE THICK FILM AND PREPARATION THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060057042(A) 申请公布日期 2006.05.26
申请号 KR20040096077 申请日期 2004.11.23
申请人 SAMSUNG CORNING CO., LTD. 发明人 LEE, CHANG HO;SHIN, HYUN MIN;KONG, SUN HWAN;LEE, HAE YONG
分类号 H01L21/20;C23C16/34;C30B29/38;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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