WAFER TRANSFER DEVICE CAPABLE OF CONTROLLING TEMPERATURE,申请号KR20040096309-传众专利搜索

发明名称	WAFER TRANSFER DEVICE CAPABLE OF CONTROLLING TEMPERATURE
摘要
申请公布号	KR20060057221(A)	申请公布日期	2006.05.26
申请号	KR20040096309	申请日期	2004.11.23
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	KIM, JAE HO;KIM, BOO DEUK;RYU, JIN A
分类号	B65G49/07;B65G69/20	主分类号	B65G49/07
代理机构		代理人
主权项
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