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发明名称 METHOD OF FILLING GAP WITH HIGH-DENSITY PLASMA OXIDE
摘要
申请公布号 KR20060057223(A) 申请公布日期 2006.05.26
申请号 KR20040096311 申请日期 2004.11.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, GUN HO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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