发明名称 TECHNIQUE D'AMELIORATION DE LA QUALITE D'UNE COUCHE MINCE PRELEVEE
摘要
申请公布号 FR2867310(B1) 申请公布日期 2006.05.26
申请号 FR20040009980 申请日期 2004.09.21
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 DAVAL NICOLAS;AKATSU TAKESHI;NGUYEN NGUYET PHUONG;RAYSSAC OLIVIER
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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