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发明名称
TECHNIQUE D'AMELIORATION DE LA QUALITE D'UNE COUCHE MINCE PRELEVEE
摘要
申请公布号
FR2867310(B1)
申请公布日期
2006.05.26
申请号
FR20040009980
申请日期
2004.09.21
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
DAVAL NICOLAS;AKATSU TAKESHI;NGUYEN NGUYET PHUONG;RAYSSAC OLIVIER
分类号
H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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