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发明名称 CLEANING METHOD AND APPARATUS OF PATTERN PRINTING MASK
摘要
申请公布号 KR20060057481(A) 申请公布日期 2006.05.26
申请号 KR20040096633 申请日期 2004.11.23
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 BAEK, JONG HWA;KIM, SOON HAK
分类号 H01J9/20 主分类号 H01J9/20
代理机构 代理人
主权项
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