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发明名称
APPARATUS FOR EVAPORATION BY USE OF MIRROR SHAPE TARGET SPUTTER AND METHOD FOR EVAPORATION BY USE THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060057461(A)
申请公布日期
2006.05.26
申请号
KR20040096612
申请日期
2004.11.23
申请人
SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人
KIM, HAN KI;LEE, KYU SUNG;KIM, DO GEUN;CHUNG, KYUNG HOON;HUH, MYUNG SOO;JEONG, SEOK HEON
分类号
H05B33/10
主分类号
H05B33/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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