发明名称 APPARATUS FOR STEERING THE ARC IN A CATHODIC ARC COATER
摘要
申请公布号 KR100559285(B1) 申请公布日期 2006.05.25
申请号 KR19980035354 申请日期 1998.08.29
申请人 发明人
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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