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发明名称
SEMICONDUCTOR THIN FILM AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100560047(B1)
申请公布日期
2006.05.25
申请号
KR19980005707
申请日期
1998.02.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/312
主分类号
H01L21/312
代理机构
代理人
主权项
地址
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