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经营范围
发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING A FERROELECTRIC THIN FILM AND SOURCE MATERIAL FOR METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
KR100497926(B1)
申请公布日期
2006.05.25
申请号
KR19980028888
申请日期
1998.07.16
申请人
发明人
分类号
H01L29/788
主分类号
H01L29/788
代理机构
代理人
主权项
地址
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