发明名称 |
Amorphous oxide and field effect transistor |
摘要 |
A novel amorphous oxide applicable, for example, to an active layer of a TFT is provided. The amorphous oxide comprises microcrystals.
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申请公布号 |
US2006108636(A1) |
申请公布日期 |
2006.05.25 |
申请号 |
US20050269600 |
申请日期 |
2005.11.09 |
申请人 |
TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
SANO MASAFUMI;NAKAGAWA KATSUMI;HOSONO HIDEO;KAMIYA TOSHIO;NOMURA KENJI |
分类号 |
H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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