发明名称 Amorphous oxide and field effect transistor
摘要 A novel amorphous oxide applicable, for example, to an active layer of a TFT is provided. The amorphous oxide comprises microcrystals.
申请公布号 US2006108636(A1) 申请公布日期 2006.05.25
申请号 US20050269600 申请日期 2005.11.09
申请人 TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 SANO MASAFUMI;NAKAGAWA KATSUMI;HOSONO HIDEO;KAMIYA TOSHIO;NOMURA KENJI
分类号 H01L27/12 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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