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发明名称 IMPROVED METHODS FOR PERFORMING PLANARIZATION AND RECESS ETCHES AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR100564082(B1) 申请公布日期 2006.05.25
申请号 KR19980040802 申请日期 1998.09.30
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/321;H01L21/3213 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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