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发明名称 PLASMA ETCHING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR100583418(B1) 申请公布日期 2006.05.25
申请号 KR20047002945 申请日期 2004.02.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/02 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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