IN-SITU SPIEGEL-CHARAKTERISIERUNG,申请号DE20016018726-传众专利搜索

发明名称	IN-SITU SPIEGEL-CHARAKTERISIERUNG
摘要
申请公布号	DE60118726(D1)	申请公布日期	2006.05.24
申请号	DE20016018726	申请日期	2001.05.09
申请人	ZYGO CORP., MIDDLEFIELD	发明人	HILL, ALLEN
分类号	G01B9/02;G01B11/00;G01B11/24;G01B11/26;G01B11/30;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027	主分类号	G01B9/02
代理机构		代理人
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