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发明名称 TEOS ASSISTED OXIDE CMP PROCESS
摘要
申请公布号 KR100583508(B1) 申请公布日期 2006.05.24
申请号 KR20030078561 申请日期 2003.11.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/302;H01L21/3105;H01L21/461;H01L21/768;H01L21/8242 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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