纳米压印光刻机

摘要

本实用新型一种压印光刻机，涉及微纳加工技术领域，具体地说，涉及用于纳米压印光刻的设备。该机主要由螺栓，上层板，中间板，传动螺栓，传动导向杆，压块和底层板组成，用螺栓、螺母连接固定。本设备结构新颖、简单，易于加工，并采用压块、导向杆和底层板分离的结构设计，不仅实现了模具和硅片的自调平衡、达到很高的加工进度，而且降低了底层板，中间板与传动导向杆之间的位置精度要求，降低了制造成本。因此，本实用新型设备可用于纳米压印光刻的科学研究。

主权项

1.一种纳米压印光刻机，由螺栓、传动螺栓、压力导向杆、三层工作板和压块组成；其特征是：在两根平行且垂直放置的螺栓上，等距水平固设三层板，三层板为：底层板、中间板和上层板，各层板两端套设于螺栓上，并由套设于螺栓上的螺母和垫圈在每层板两端上下定位；在中间板和上层板中心部设有贯通孔，中间板的贯通孔内套设有压力导向杆，压力导向杆与贯通孔内壁动接触，上层板的贯通孔内套设有传动螺栓，传动螺栓外圆周与贯通孔内壁动接触；传动螺栓上端与外接动力源相连；压力导向杆上端与传动螺栓下端可旋转式连接，压力导向杆下端设有压块。