APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION,申请号KR20040094921-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号	KR20060055774(A)	申请公布日期	2006.05.24
申请号	KR20040094921	申请日期	2004.11.19
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	LEE, SU HYEONG
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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