APPARATUS FOR HANDLING A SUBSTRATE,申请号KR20040094533-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR HANDLING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR20060055633(A)	申请公布日期	2006.05.24
申请号	KR20040094533	申请日期	2004.11.18
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	JEONG, TAE HWA
分类号	H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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