发明名称 |
Scanning and high resolution x-ray photoelectron spectroscopy |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1220280(B1) |
申请公布日期 |
2006.05.24 |
申请号 |
EP20010120818 |
申请日期 |
1993.08.25 |
申请人 |
REVERA INCORPORATED |
发明人 |
LARSON, PAUL E.;PALMBERG, PAUL W. |
分类号 |
G01N23/227;G01Q30/02;G01Q30/06;G21K1/06;H01J37/06;H01J37/256;H01J37/285;H01J49/08;H01J49/44;H01J49/48 |
主分类号 |
G01N23/227 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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