| 发明名称 |
SOLUTION TO THERMAL BUDGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1658519(A2) |
申请公布日期 |
2006.05.24 |
| 申请号 |
EP20040778916 |
申请日期 |
2004.07.22 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WADA, YUICHI;LEON, FRANCISCO, A. |
| 分类号 |
C30B29/12;C30B33/00;G02B6/12;G02B6/42;G02B6/43;H01L21/00;H01L21/3205;H01L21/4763;H01L21/84;H01L27/12;H01L31/0352;(IPC1-7):G02B6/12 |
主分类号 |
C30B29/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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