| 发明名称 | 用于汽化材料的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有汽化坩锅的用于汽化材料的装置。待汽化的材料放置在汽化坩锅中。在汽化坩锅周围安放汽化器管道。从其纵向角度观察，该汽化器管道包括至少两个上下依次放置的加热回路，并且分别进行电控。每个加热回路均包括至少两个加热支路，分别安放在汽化器管道的两侧。汽化器管道具有带有自己的加热回路的顶部。 | ||
| 申请公布号 | CN1776007A | 申请公布日期 | 2006.05.24 |
| 申请号 | CN200510051962.0 | 申请日期 | 2005.02.23 |
| 申请人 | 应用薄膜两合公司 | 发明人 | 斯蒂芬·海因;冈特·克莱姆;彼得·斯库克 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01);C23C14/24(2006.01) | 主分类号 | C23C14/56(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 王景刚;李瑞海 |
| 主权项 | 1、一种具有汽化坩锅(56)的用于汽化材料的装置，待汽化的材料(57)放置在汽化坩锅(56)中，其中，该装置还包括环绕着汽化坩锅(56)的汽化器管道(7)，该管道包括至少两个上下依次放置的加热回路，并且分别进行电控。 | ||
| 地址 | 德国阿尔策瑙 | ||