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发明名称 GUARD CELL FOR ETCHING
摘要
申请公布号 KR100581454(B1) 申请公布日期 2006.05.24
申请号 KR19990007658 申请日期 1999.03.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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